Viktige tekniske spesifikasjoner for måleinstrumenter inkluderer nøyaktighet, følsomhet og responstid. Nøyaktighet angir graden av samsvar mellom instrumentets måleresultat og den sanne verdien av mengden som måles. Instrumentnøyaktighet uttrykkes vanligvis via nøyaktighetsklasser-som Klasse 0.1, 0.2, 0.5, 1.0 eller 1.5 - der for eksempel et Klasse 0.1-instrument har en total feil som ikke overstiger ±1,0 %. Et lavere nøyaktighetsklassetall indikerer mindre systematiske og tilfeldige feil, noe som betyr høyere presisjon.
Sensitivitet er definert som forholdet mellom endringen i instrumentets indikerte verdi og den tilsvarende lille økningen i målt mengde; det gjenspeiler instrumentets evne til å oppdage den minste målbare endringen. Responstid refererer til intervallet som kreves for at utdata skal nå sin endelige stabile-verdi for første gang etter en trinninntasting; dette måles vanligvis som tiden det tar å nå 95 % av stabil-verdien. Andre ytelsesspesifikasjoner inkluderer repeterbarhet, linearitet, hysterese, dødsone og drift.
